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连云港百利合新材料申请无机光刻胶硬度梯度动态成形方法专利保障图形分辨率与加工稳定性

更新时间:2026-02-12 06:31:49

  国家知识产权局信息显示,连云港百利合新材料发展有限公司申请一项名为“一种无机光刻胶硬度梯度动态成形方法及系统”的专利,公开号CN121209219A,申请日期为2025年11月。

  专利摘要显示,本发明涉及光刻工艺技术领域,公开了一种无机光刻胶硬度梯度动态成形方法及系统,方法包括:接收待加工曝光图案、实时工艺参数数据和目标硬度分布图,输入改进的UNet深度卷积神经网络构建的硬度梯度预测模型,生成曝光剂量空间分布预测图;将其映射到含空间光调制器的数控灰度调节曝光系统,实施分区域差异化曝光及多参数协同动态调控;曝光后在线测量硬度分布,通过二阶差分确定梯度不连续区域并优化;本发明实现了无机光刻胶中稳定、连续且可控的硬度梯度构建,同时保障图形分辨率与加工稳定性。

  天眼查资料显示,连云港百利合新材料发展有限公司,成立于2009年,位于连云港市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本3891万人民币。通过天眼查大数据分析,连云港百利合新材料发展有限公司专利信息27条,此外企业还拥有行政许可6个。

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